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国产设备“零突破”！国产前道涂胶显影设备将首次进入OCF国际供应链！

2024-06-12

国产设备“零突破”！国产前道涂胶显影设备将首次进入OCF国际供应链！

据SISPARK发布消息，6月6日，苏州国际科技园（SISPARK）项目——芯达半导体设备（苏州）有限公司（简称“芯达半导体”）与吉林求是光谱数据科技有限公司（简称“求是光谱”）合作签约，双方就供应链关系达成合作之后，国产前道涂胶显影设备将首次进入OCF国际供应链，标志着可视化芯片彩色光刻胶涂胶工艺设备国产化实现“零突破”。

前道涂胶显影设备又称TRACK设备，指在光刻工序中与光刻机配套使用，可完成涂胶、喷胶、烘烤以及显影等操作的设备。前道涂胶显影设备能满足高等级工艺需求，通常用于晶圆制造环节。

芯达半导体是一家半导体设备制造商，2021年落户园区，致力于半导体前道制程—涂胶显影设备的研发和制造，主要产品为半导体光刻工艺用涂胶显影机（track）。

SISPARK发布消息显示，芯达半导体核心研发团队拥有20年以上专业经验，目前产品从涂胶显影机整体架构到单元零部件已完全实现国产化，可替代国外28nm以上光刻工艺进口产品。该公司计划未来三年内完成14~28nm设备研发、生产、测试和销售，预计五年内的总研发投入将超亿元。芯达半导体为国产光刻工艺的突破，尤其是光刻胶进一步的突破打下了良好的基础。

求是光谱官网显示，公司成立于2017年5月，是一家从事光谱成像芯片设计及其在各领域应用解决方案研发以及光谱大数据建设的高新技术企业。创始团队主要来自于长春理工大学，在光谱技术和应用领域积累了20余年的经验。核心团队潜心研发数十年，提出全新的成像光谱芯片技术架构体系，并完成芯片的流片、封装和测试。

 

 

 

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